ikbguИзвестия Кабардино-Балкарского государственного университетаProceedings of the Kabardino-Balkarian State University2221-7789Kabardino-Balkarian State University named after Kh. M. Berbekov10.31143/2221-7789-2024-3-43-47WAJCANikbgu-119Research ArticleФизикаPhysicsВЛИЯНИЯ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ И ИОННЫХ ЛУЧЕЙ НА ПОВЕРХНОСТНЫЕ СВОЙСТВА ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК ТИТАНАEFFECTS OF THE INTERACTION OF ELECTRON AND ION BEAMS ON THE SURFACE PROPERTIES OF TITANIUM OXIDE FILMSЧеркесоваН ВCherkesovaN Vnatasha07_2002@mail.ruМустафаевГ АMustafaevG Anatasha07_2002@mail.ruМустафаевА ГMustafaevA G

Дагестанский государственный университет народного хозяйства

natasha07_2002@mail.ruКабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. БербековаKabardino-Balkarian State UniversityDagestan State University of National EconomyRussian Federation2024300920241434347Copyright © Черкесова Н.В., Мустафаев Г.А., Мустафаев А.Г., 20242024Черкесова Н.В., Мустафаев Г.А., Мустафаев А.Г.Cherkesova N.V., Mustafaev G.A., Mustafaev A.G.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.izvestiakbsu.ru/jour/article/view/119

В работе изучено влияния взаимодействия электронных и ионных лучей с поверхностью образцов на результаты профилирования поверхностных слоев оксидов титана. Проведено исследование зави симости отношения амплитуды пика кислорода к амплитуде пика титана от времени бомбардировки, на образцах из TiO2 и из TiO. Показано, что электронная бомбардировка оксидной поверхности, происходящая одновременно с ионной бомбардировкой, стимулирует образование карбидов. Влияние электронной бомбардировки на стехиометрию поверхностных слоев зависит от того, производится ли распыление поверхности ионной бомбардировкой.

The interaction of electron and ion rays with sample surfaces is investigated in relation to the findings of surface layer profiling in titanium oxides. The relationship between the ratio of the amplitude of the oxygen peak to the amplitude of the titanium peak and bombardment duration was investigated on TiO2 and TiO sam- ples. It is demonstrated that electron bombardment of the oxide surface, along with ion bombardment, pro- motes carbide production. The effect of electron bombardment on surface layer stoichiometry is determined by whether the surface has been sprayed with ions

 

оксид титанаэлектронная бомбардировкаплотность ионного токастехиометрияконцентрациянапряжение модуляцииплотность электронного лучаадсорбции углерода.titanium oxideelectron bombardmention current densitystoichiometryconcentrationmodulation voltageelectron beam densitycarbon adsorption.ReferencesКалыгина В.М., Егорова И.М., Прудаев И.А., Толбанов О.П. Механизм проводимости пленок оксида титана и структур металл−TiO2−Si // Физика и техника полупроводников. 2016. Т. 50, № 8. С. 1036.Калыгина В.М., Егорова И.М., Прудаев И.А., Толбанов О.П. Механизм проводимости пленок оксида титана и структур металл−TiO2−Si // Физика и техника полупроводников. 2016. Т. 50, № 8. С. 1036.Fujishima A., Honda K. Electrochemical Photolysis of Water at a Semiconductor Electrode // Nature. 1972. V. 238, N 5358. P. 37.Fujishima A., Honda K. Electrochemical Photolysis of Water at a Semiconductor Electrode // Nature. 1972. V. 238, N 5358. P. 37.Schneider J., Matsuoka M., Takeuchi M., Zhang J., Horiuchi Y., Anpo M., Bahnemann D.W. Under- standing TiO2 Photocatalysis: Mechanisms and Materials // Chem. Rev. 2014. V. 114, N 19. P. 9919.Schneider J., Matsuoka M., Takeuchi M., Zhang J., Horiuchi Y., Anpo M., Bahnemann D.W. Under- standing TiO2 Photocatalysis: Mechanisms and Materials // Chem. Rev. 2014. V. 114, N 19. P. 9919.Пармон В.Н. Фотокаталитическое преобразование солнечной энергии: Гетерогенные, гомоген- ные и молекулярные структурно-организованные системы: сборник научных трудов. Новосибирск: Наука, 1991. С. 7.Пармон В.Н. Фотокаталитическое преобразование солнечной энергии: Гетерогенные, гомоген- ные и молекулярные структурно-организованные системы: сборник научных трудов. Новосибирск: Наука, 1991. С. 7.Ochiai T., Fujishima A. Photoelectrochemical properties of TiO2 photocatalyst and its applications for environmental purification // J. Photochem. Photobiol. C. 2012. V. 13, N 4. P. 247.Ochiai T., Fujishima A. Photoelectrochemical properties of TiO2 photocatalyst and its applications for environmental purification // J. Photochem. Photobiol. C. 2012. V. 13, N 4. P. 247.Бриггса Д. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроско- пии / под ред. Д. Бриггса, М.П. Сиха. М.: Мир, 1987. 600 с.Бриггса Д. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроско- пии / под ред. Д. Бриггса, М.П. Сиха. М.: Мир, 1987. 600 с.Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989. 564 с.Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989. 564 с.Фельдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир, 1989. 564 с.Фельдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир, 1989. 564 с.Еловиков С.С. Электронная спектроскопия поверхности и тонких пленок: учеб. пособие. М.: МГУ, 1992. 94 с.Еловиков С.С. Электронная спектроскопия поверхности и тонких пленок: учеб. пособие. М.: МГУ, 1992. 94 с.Никитенков Н.Н. Основы анализа поверхности твердых тел методами атомной физики. Томск: ТПУ, 2012. 202 с.Никитенков Н.Н. Основы анализа поверхности твердых тел методами атомной физики. Томск: ТПУ, 2012. 202 с.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.