В работе исследован процесс разрушения твердого вещества, аналогичный испарению или сублимации, обычно осложненный наличием конденсированной фазы в продуктах разрушения (лазерная абляция).
Получена зависимость толщины аблированного за импульс полиимида под действием излучения эксимерных ArF, KrF, XeCl и XeF лазеров как функции дозы облучения.
Показано, что лазерная абляция является одним из основных механизмов лазерной деструкции полимеров под действием лазерного излучения.
In this work, the process of destruction of a solid substance, similar to evaporation or sublimation, is studied, usually complicated by the presence of a condensed phase in the destruction products (laser ablation). The dependence of the thickness of polyimide ablated per pulse under the action of excimer ArF, KrF, XeCl and XeF lasers as a function of the irradiation dose is obtained.
It is shown that laser ablation is one of the main mechanisms of laser destruction of polymers under the action of laser radiation.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.