Проведена оценка влияния концентрации фосфора, температуры и давления пара на степень оплавления фосфоросиликатного стекла. Показано, что скорость оплавления растет с повышением температуры и увеличением концентрации фосфора, а длительность и скорость оплавления зависят от газовой среды, в которой проводится оплавление. Показано, что эффективность оплавления уменьшается в ряду: пирогенный пар, влажный O2, сухой O2, сухой N2. Показано, что одним из путей решения проблем понижения температуры технологических процессов является проведение процесса оплавления при повышенном давлении газовой среды.
The effect of phosphorus content, temperature, and vapor pressure on the melting temperature of phosphorosilicate glass was investigated. It is demonstrated that the melting rate increases with increasing temperature and phosphorus concentration, and that the length and speed of melting are affected by the gas medium in which the melting occurs. The reflow efficiency declines in the following order: pyrogenic steam, wet O2, dry O2, dry N2. It is demonstrated that one method for addressing the problem of lowering the temperature of technological processes is to conduct the melting process at elevated gas medium pressure.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.