ВЛИЯНИЯ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ И ИОННЫХ ЛУЧЕЙ НА ПОВЕРХНОСТНЫЕ СВОЙСТВА ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК ТИТАНА
https://doi.org/10.31143/2221-7789-2024-3-43-47
EDN: WAJCAN
Аннотация
В работе изучено влияния взаимодействия электронных и ионных лучей с поверхностью образцов на результаты профилирования поверхностных слоев оксидов титана. Проведено исследование зави симости отношения амплитуды пика кислорода к амплитуде пика титана от времени бомбардировки, на образцах из TiO2 и из TiO. Показано, что электронная бомбардировка оксидной поверхности, происходящая одновременно с ионной бомбардировкой, стимулирует образование карбидов. Влияние электронной бомбардировки на стехиометрию поверхностных слоев зависит от того, производится ли распыление поверхности ионной бомбардировкой.
Об авторах
Н В ЧеркесоваРоссия
Г А Мустафаев
Россия
А Г Мустафаев
Россия
Дагестанский государственный университет народного хозяйства
Список литературы
1. Калыгина В.М., Егорова И.М., Прудаев И.А., Толбанов О.П. Механизм проводимости пленок оксида титана и структур металл−TiO2−Si // Физика и техника полупроводников. 2016. Т. 50, № 8. С. 1036.
2. Fujishima A., Honda K. Electrochemical Photolysis of Water at a Semiconductor Electrode // Nature. 1972. V. 238, N 5358. P. 37.
3. Schneider J., Matsuoka M., Takeuchi M., Zhang J., Horiuchi Y., Anpo M., Bahnemann D.W. Under- standing TiO2 Photocatalysis: Mechanisms and Materials // Chem. Rev. 2014. V. 114, N 19. P. 9919.
4. Пармон В.Н. Фотокаталитическое преобразование солнечной энергии: Гетерогенные, гомоген- ные и молекулярные структурно-организованные системы: сборник научных трудов. Новосибирск: Наука, 1991. С. 7.
5. Ochiai T., Fujishima A. Photoelectrochemical properties of TiO2 photocatalyst and its applications for environmental purification // J. Photochem. Photobiol. C. 2012. V. 13, N 4. P. 247.
6. Бриггса Д. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроско- пии / под ред. Д. Бриггса, М.П. Сиха. М.: Мир, 1987. 600 с.
7. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М.: Мир, 1989. 564 с.
8. Фельдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир, 1989. 564 с.
9. Еловиков С.С. Электронная спектроскопия поверхности и тонких пленок: учеб. пособие. М.: МГУ, 1992. 94 с.
10. Никитенков Н.Н. Основы анализа поверхности твердых тел методами атомной физики. Томск: ТПУ, 2012. 202 с.
Рецензия
Для цитирования:
Черкесова Н.В., Мустафаев Г.А., Мустафаев А.Г. ВЛИЯНИЯ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ И ИОННЫХ ЛУЧЕЙ НА ПОВЕРХНОСТНЫЕ СВОЙСТВА ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК ТИТАНА. Известия Кабардино-Балкарского государственного университета. 2024;14(3):43-47. https://doi.org/10.31143/2221-7789-2024-3-43-47. EDN: WAJCAN
For citation:
Cherkesova N.V., Mustafaev G.A., Mustafaev A.G. EFFECTS OF THE INTERACTION OF ELECTRON AND ION BEAMS ON THE SURFACE PROPERTIES OF TITANIUM OXIDE FILMS. Proceedings of the Kabardino-Balkarian State University. 2024;14(3):43-47. (In Russ.) https://doi.org/10.31143/2221-7789-2024-3-43-47. EDN: WAJCAN
JATS XML


