СВОЙСТВА ПЛЕНОК СИЛИЦИДА ТИТАНА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ГАЗОФАЗНОГО ПЛАЗМОАКТИВИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ
https://doi.org/10.31143/2221-7789-2023-4-72-75
EDN: JMLIHB
Аннотация
Проведено исследование свойств пленок силицида титана, полученного методом химического газофазного плазмоактивированного осаждения (ХГПО). Исследованы зависимость отношения Si/Ti в пленках силицида титана от отношения SiH4/TiCl4 и удельного сопротивления слоя силицида титана, полученных разными методами от температуры отжига в среде аргона Аr. Показано, что удельное сопротивление слоев силицида титана, полученных методом ХГПО, достигает самых низких значений при более низких температу- рах отжига, что обусловлено малым содержанием примесей в пленках и при ускоренном отжиге в интервале температур 600–950 °С, отношение Si/Ti становится равным 2. Показано, что на поверхности пленок сили- цида титана может быть выращен SiО2 в парах Н2О при 800 °С или в сухом О2 при 900–950 °С.
Об авторах
Н. В. Черкесова
Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова
Россия
Россия
Г. А. Мустафаев
Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова
Россия
Россия
А. Г. Мустафаев
Дагестанский государственный университет народного хозяйства
Россия
Россия
Список литературы
1. Мустафаев Г.А., Черкесова Н. В. Силициды тугоплавких металлов: учебное пособие. Нальчик, 2021. 95 c.
2. Yang L.Y., Zhang D.H., Li C.Y., Foo P.D. Comparative study of Ta, TaN and Ta/TaN bi-layer barri- ers for Cu-ultra low-k porous polymer integration // Thin solid films. 2004. P. 176–181.
3. Громов, Д.Г., Мочалов А.И. Свойства контактной системы TiN/CoSi2, сформированной твер- дофазным синтезом из пленки сплава Ti–Co–N // Известия вузов. Электроника. 1998. № 1. С. 24–30.
4. Mustafaev G.A., Khasanov A.I., Cherkesova N.V., Mustafaev A.G. Technology for the formation of refractory metals for micro- and nanoelectronics products // IOP Conference Series: Materials Science and En- gineering. 3rd International Symposium on Engineering and Earth Sciences. 2020. P. 12048.
5. Патент РФ № 2698540. Способ изготовления контактно-барьерной металлизации / Г.А. Муста- фаев, А.Г. Мустафаев. Опубл. 28.08.2019. Бюл. № 13.
6. Патент РФ № 2751983. Способ изготовления силицида титана / Г.А. Мустафаев, А.Г. Мустафа- ев, Н.В. Черкесова. Опубл. 21.07.2021. Бюл. № 21.
7. Мустафаев Г.А., Мустафаев А.Г., Панченко В.А., Черкесова Н.В. Метод ионного перемешива- ния для формирования силицидного слоя // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наност- руктур и наноматериалов. 2020. № 12. С. 868–874.
8. Громов Д.Г., Мочалов А.И., Пугачевич В.П., Сулимин А.Д., Евдокимов B.А., Волк Ч.П. Само- совмещенное формирование контактного слоя CoSi2 и диффузионно-барьерного слоя TiN // Известия вузов. Электроника. 1999. № 3. С. 20–25.
Рецензия
Для цитирования:
Черкесова Н.В., Мустафаев Г.А., Мустафаев А.Г. СВОЙСТВА ПЛЕНОК СИЛИЦИДА ТИТАНА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ГАЗОФАЗНОГО ПЛАЗМОАКТИВИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ. Известия Кабардино-Балкарского государственного университета. 2023;13(4):72-75. https://doi.org/10.31143/2221-7789-2023-4-72-75. EDN: JMLIHB
For citation:
Cherkesova N.V., Mustafaev G.A., Mustafaev A.G. PROPERTIES OF TITANIUM SILICIDE FILMS OBTAINED BY CHEMICAL GAS-PHASE PLASMA-ACTIVATED DEPOSITION. Proceedings of the Kabardino-Balkarian State University. 2023;13(4):72-75. (In Russ.) https://doi.org/10.31143/2221-7789-2023-4-72-75. EDN: JMLIHB
Просмотров:
31
JATS XML
Послать статью по эл. почте 