Для цитирования:

Черкесова Н.В., Мустафаев Г.А., Мустафаев А.Г. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ОТЖИГА ПЛЕНОК СИЛИЦИДОВ ТУГОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ НА АТОМНОЕ ОТНОШЕНИЕ Si/МЕТАЛЛ. Известия Кабардино-Балкарского государственного университета. 2022;12(4):39-43.

For citation:

Cherkesova N.V., Mustafayev H.A., Mustafaev A.G. RESEARCH OF THE EFFECT OF ANNEALING TEMPERATURE OF REFRACTORY METAL SILICIDE FILMS ON THE ATOMIC RATIO Si/METAL. Proceedings of the Kabardino-Balkarian State University. 2022;12(4):39-43. (In Russ.)