ВЛИЯНИЕ КОНЦЕНТРАЦИИ ФОСФОРА И ДАВЛЕНИЯ ПАРА ГАЗОВОЙ СРЕДЫ НА СТЕПЕНЬ ОПЛАВЛЕНИЯ ФОСФОРОСИЛИКАТНОГО СТЕКЛА

Проведена оценка влияния концентрации фосфора, температуры и давления пара на степень оплавления фосфоросиликатного стекла. Показано, что скорость оплавления растет с повышением температуры и увеличением концентрации фосфора, а длительность и скорость оплавления зависят от газовой среды, в которой проводится оплавление. Показано, что эффективность оплавления уменьшается в ряду: пирогенный пар, влажный O₂, сухой O₂, сухой N₂. Показано, что одним из путей решения проблем понижения температуры технологических процессов является проведение процесса оплавления при повышенном давлении газовой среды.

1. Мустафаев Г.А., Черкесова Н.В. Трехмерные интегральные схемы: учебное пособие. Нальчик: КБГУ, 2016. 89 с.

2. Красников Г.Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзис- торов. М.: Техносфера, 2011. 799 с.

3. Зятьков И.И., Кривошеева А.Н. Базовые процессы планарной технологии: электрон. учеб. по- собие. СПб.: «ЛЭТИ», 2018. 1 эл.-опт. диск (CD-ROM).

4. Громов Д.В., Краснюк А.А. Материаловедение для микро- и наноэлектроники: учебное посо- бие. М.: МИФИ, 2008. 156 с.

5. Пирс К. Технология СБИС: в 2 кн. / пер. с англ. В.М. Звероловлева. М.: Мир, 1986. 404 с.

6. Могэб К. Технология СБИС: в 2 кн. / пер. с англ. В.Н. Лейкина. М.: Мир, 1986. 453 с.

7. Mustafaev G.A., Mustafaev A.G., Cherkesova. N.V. Thin Layers of Oxide Coating in Very-Large- Scale Integration // AER-Advances in Engineering Research. 2018. V. 177. Р. 377–379.