ВЛИЯНИЕ ДВИЖЕНИЯ ЗАРЯДОВ В ОКСИДЕ НА ДЕГРАДАЦИЮ ХАРАКТЕРИСТИК СТРУКТУР МЕТАЛЛ – ДИЭЛЕКТРИК – ПОЛУПРОВОДНИК
https://doi.org/10.31143/2221-7789-2023-4-67-71
EDN: TYYZYR
Аннотация
Проведена оценка влияния медленного движения дырок на деградацию n-канальных МДП ПТ с n+-поликремниевым затвором. Исследовано влияние высвобождения захваченных электронов на динамическую деградацию р-канальных МДП ПТ после инжекции горячих носителей в канал. Показано, что на процесс восстановления характеристик влияет поле в оксиде, причем зависимость от времени носит ярко выраженный неэкспоненциальный характер. Показано, что инжекция электронов при высоком напряжении на затворе в процессе чередующихся статических воздействий вызывает рекомбинацию захваченных дырок, а учет эффектов освобождения захваченного заряда позволяет решить проблемы релаксации процессов деградации.
Об авторах
Н. В. Черкесова
Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова
Россия
Россия
Г. А. Мустафаев
Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова
Россия
Россия
А. Г. Мустафаев
Дагестанский государственный университет народного хозяйства
Россия
Россия
Список литературы
1. Литовченко В.Г., Горбань А.П. Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик- полупроводник. Киев: Наукова думка, 1978. 316 с.
2. Свойства структур металл – диэлектрик – полупроводник / под ред. А.В. Ржанова. М: Наука, 1976. 277 с.
3. Красников Г.Я. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзис- торов. М.: Техносфера, 2011. 800 с.
4. Солдатов В.С., Соболев Н.В. Электронный захват в МДП структурах с термическим окислом кремния при туннельной инжекции // Известия вузов. Физика. 1989. № 12. С. 82–84.
5. Андреев В.В., Бондаренко В.Г. Зарядовая деградация МДП-систем с термическим окислом кремния, пассивированным ФСС, при высокополевой туннельной инжекции // Микроэлектроника. 1997.
6. № 6. С. 640–646.
7. Мустафаев Г.А, Черкесова Н.В. Проектирование элементов цифровых МДП-схем устойчивых к воздействию дестабилизирующих факторов: учебное пособие. Нальчик, 2020. 95 с.
8. Мустафаев Г.А., Черкесова Н.В. Трехмерные интегральные схемы: учебное пособие. Нальчик: КБГУ, 2016. 89 с.
9. Mustafaev G.A., Khasanov A.I., Mustafaev A.G. Cherkesova N.V. Thin Layers of Oxide Coating in Very-Large-Scale Integration // AER-Advances in Engineering Research. 2018. V. 177. P. 377–379.
Рецензия
Для цитирования:
Черкесова Н.В., Мустафаев Г.А., Мустафаев А.Г. ВЛИЯНИЕ ДВИЖЕНИЯ ЗАРЯДОВ В ОКСИДЕ НА ДЕГРАДАЦИЮ ХАРАКТЕРИСТИК СТРУКТУР МЕТАЛЛ – ДИЭЛЕКТРИК – ПОЛУПРОВОДНИК. Известия Кабардино-Балкарского государственного университета. 2023;13(4):67-71. https://doi.org/10.31143/2221-7789-2023-4-67-71. EDN: TYYZYR
For citation:
Cherkesova N.V., Mustafaev G.A., Mustafaev A.G. THE INFLUENCE OF CHARGE MOVEMENT WITHIN AN OXIDE ON THE DEGRADATION OF CHARACTERISTICS IN METAL-DIELECTRIC-SEMICONDUCTOR STRUCTURES. Proceedings of the Kabardino-Balkarian State University. 2023;13(4):67-71. (In Russ.) https://doi.org/10.31143/2221-7789-2023-4-67-71. EDN: TYYZYR
Просмотров:
30
JATS XML
Послать статью по эл. почте 